KrF光刻胶供应紧张 晶圆厂正加速导入本土产品

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  • 发布日期:2021-05-26
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证券时报e公司讯,目前信越化学KrF光刻胶产能不足,我国多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张,部分中小晶圆厂甚至遭遇了断供,多家晶圆厂在加速验证导入本土KrF光刻胶。今年以来,除了台积电、三星、英特尔等晶圆厂积极扩产外,中芯国际、华虹宏力等本土晶圆厂也积极扩产和释放产能,这导致国内光刻胶需求量大增,尤其是在KrF、ArF等高端光刻胶。彤程新材是目前国内唯一能够供应KrF光刻胶的厂商;晶瑞股份的KrF光刻胶已完成中试。(上证资讯)

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